過熱水蒸気発生器/ヒートビームシリンダー
(高効率小型熱交換器)
テストウエハ

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株式会社フィルテックはテストウエハと小型高効率熱交換器(Heat Beamシリンダー)で
貴社の技術開発を支援いたします。 お問合せページよりご相談ください。

半導体開発で蓄積された科学知識を用いて、Philtechは先端微細パターンテストウエハの提供から事業を始めました。お客様の御要望に応じたベアSiウエハ、膜付ウエハ、パタンウエハやSiウエハ以外の材料基板のご提供が可能です。パタンウエハはマスク設計から承ります。
また、プラズマダメージを感度良く評価する

ウエハと測定サービスは12インチサイズでも提供可能であり、世界で評価されています。
 更に、特許を取得した高効率の小型熱交換器(Heat Beam シリンダー)をラインナップしています。小型でありながら、ガスや液体等の流体を効率よく、瞬時に高温に加熱し、最高1000℃近くまで温度をあげる事が可能です。

窒素を加熱して生成した高温N2を半導体製造装置の排気ラインに用いると反応生成物の付着を防止できます。また水を加熱して過熱水蒸気発生装置とすることができ、様々な用途での使用が期待されます。

当社は半導体の科学資産を未来世代のための価値に変換していきます。

過熱水蒸気発生器/ヒートビームシリンダー(高効率小型熱交換器)


日本特許 第5955089号

ヒートビームシリンダー ヒートビームシリンダー

ヒートビームシリンダーの仕様一覧
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100%近い熱交換率

ヒートビームシリンダー

ヒートビームシリンダーの特徴

●900℃以上の過熱水蒸気を発生 → 広い分野で使用が可能です。
●コンパクトなサイズ → ユースポイントの近くで過熱水蒸気を発生できます。
●水から直接 過熱水蒸気の生成も可能 → ボイラーが不要になります。
●自由な配置・組み合わせ → 並列、直列、縦置、横置、装置直結など

過熱水蒸気とは

飽和水蒸気より高温の気体を過熱水蒸気といいます。
大気圧では100℃以上の水蒸気です。

過熱水蒸気には、飽和水蒸気や空気には見られない、
様々な特性があります。

ヒートビームシリンダー

過熱水蒸気の特性

加 熱

空気に比べて熱容量が大きいために、対象物を効率良く温めることができます。

洗 浄

油脂成分を除去することができるので、機械部品の洗浄等に使われます。

乾 燥

飽和水蒸気のように液化し易いことがないので、対象物を効率よく乾燥することができます。

バイオ・
環境エネルギー

800℃以上の高温になると、炭化物を分解する能力が強くなるので、メタンを分解して水素を発生したり、バイオマス発電装置内で発生したタールを分解することができます。

廃棄物処理

対象物を減容・炭化する際に燃やさないのでCO2を発生しません。


ヒートビームシリンダーの用途〜過熱水蒸気発生他

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テストウエハ

ヒートビームシリンダー

小口径ウエハから大口径ウエハまでご提供


ベアSi, 膜付ウエハ, パタン付ウエハ
チャージアップモニタウエハ(8インチ、12インチ)
チャージアップモニタチップ

その他、ダイシング加工、汚染分析等承ります。

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